第0089章 光刻機
1點57分,孟謙在工廠門口等到了何文康,跟著何文康一起過來的還有一個是他的男秘書蔡元。
簡單打了個招呼就一起進廠,在門口的時候孟謙跟張國強相視一笑,兩人並沒有打招呼。
“孟總,知道我為什麽要帶你來工廠麽?”走進工廠後何文康問道。
孟謙搖了搖頭,他確實不知道。
“你不知道就對了,我也不知道。”何文康沖著孟謙一笑,笑的孟謙莫名其妙。
整個工廠有五個廠房,一個食堂,一個宿舍,還有一個運動區。
何文康帶著來到了最正中間的廠房,一進門就可以看到兩邊擺滿的設備和地上密布的電纜。
而最顯眼的,就是進門右手邊的一台半暴露的“龐然大物”。
何文康帶著孟謙走向了那台設備,廠裏的幾名員工紛紛跟何文康打招呼,同時打量了一下孟謙,畢竟他最近老出現在工廠門口,有人也問過張國強他是誰,張國強只道是個來了解情況的,沒有細說。
“知道這是什麽吧?”何文康駐足盯著設備看了一會兒後轉過頭問孟謙道。
“光刻機。”孟謙有些低沉的回應了一句,同樣駐足盯著光刻機,一種奇怪的情緒湧上心頭,光刻機,多少華夏人心頭的痛啊……
何文康微微側頭觀察著孟謙的表情,然而孟謙表現在臉上的情緒讓他突然懵逼了,怎麽感覺看出了一種……殺父之仇的感覺?
“孟總知道這些東西都是幹嘛的嘛?”搞不懂孟謙的何文康用手對著光刻機畫了個圈問道。
“大概了解,但不詳細。”孟謙向前了兩步想看的更清楚。
“那我簡單跟孟總介紹一下吧”何文康同樣上前兩步先指了指設備最邊上的一個橢圓形的東西,“這是激光器,邊上這個是能量控制器,下面是光束矯正器,就這三個東西控制著光源的第一步輸入,這一環節最重要的,是穩定。
但就是一個穩定,我們華夏這麽多年就是控制不好,孟總知道為什麽麽?”
孟謙搖了搖頭。
“那孟總知道這麽一台光刻機一天的耗電量麽?”
孟謙再次搖了搖頭。
何文康看了一眼激光器道,“一萬度電起步。”
孟謙稍驚了一下,他後世確實沒了解的這麽細,這一世又一直在了解更上遊的東西,“是因為能量轉換率的問題吧?”
“是的。”何文康沖著孟謙點了點頭,“光刻機的能量轉換率平均值還不到千分之一。
所以如何保證一個長時間內持續穩定的高功率輸出,這是光源輸入的第一個穩,第二個穩在於,如何提升能量穩定以提升良品率,要知道,最終的能量一旦出現一點極小的誤差,都會影響到良品率,最後一個穩,也是最基本的穩,如何通過設備穩定來降低用電量。
一個表現優異的激光器和能量轉換器,它會影響企業的電力成本以及產品的良品率。”
“一個擁有三四台光刻機的晶圓廠,每年光電費就要上千萬……”孟謙下意識的接了一句。
“目前市面上設備的優劣可以帶來的用電差距,高達兩倍。”何文康往右邊走了幾步,“從能量控制器出來的能量會進入光束形狀設置裝置,不同的光束會帶來不同的光學效果。
再過去就是能量探測器了,剛才我也說了,能量的誤差會直接影響到良品率,所以這裏算是對能量的二次確認,能量探測器下面那個東西叫掩模版,這東西本質上就是一個刻著芯片線路的玻璃,類似於相機的底片。
但就這麽一塊破玻璃,孟總猜猜看多少錢?”
孟謙想了想道,“何總直接說答案吧。”
何文康淡淡一笑,“一塊破玻璃,一百萬。”
說完,何文康示意孟謙向右走兩步,“掩模版下面這一塊就是最重要的東西了,物鏡,孟總可以數一數,這裏總共有20多塊鏡片,通過這20多塊鏡片,將掩膜版上的電路圖按比例縮小,再被激光映射到矽片上,同時物鏡還要補償各種光學誤差。
這個東西,孟總也很清楚,咱們搞不定。
下面這兩個平台是測量台和曝光台,正常流程,先測量,再曝光,整個測量台的精度是納米級的,差1納米都不行,我們用的自動調焦系統,是米國人設計的。
好了,這就是一台從表面上能看到的光刻機,但技術卻不僅只是這些,就比如看到這裏的傳輸帶了麽,這是傳輸系統,同樣是納米級的,而且加速系統是航空水平,整個光刻機還需要減震系統,環境控制系統,整機控制系統,自動化操作系統等等。
這就是光刻機,一個把它模塊化之後,每一個模塊的難度都是一個縮小版光刻機的東西。”
何文康突然有點自言自語的感覺,也不知道這話到底是說給孟謙聽的還是說給自己聽的。