第299章 研發中的第四代光刻機（第2/2頁）

這算是給羅佳打預防針了，他說這話的意思是，我能幫你把超紫外混合激光搞出來，但激光之外的事情，我也是無能為力，還要看星辰科技自己的力量。

羅佳只是點頭笑了笑，並沒有說什麽。

兩個人很快來到這台機器跟前，羅佳淡淡的說，“這就是我們的初代機，它共分為十三大結構，分別是激光發生器，光束矯正器，能量控制器，光束形狀調整器，遮光器，能量探測器，掩膜版，掩膜台，物鏡，測量台，曝光台，封閉框架，磁懸浮減震。”

羅佳指著機器，介紹這台復雜的組成。

雖然聽名字似乎很簡單，但就算用腳後跟想也能明白，作為半導體行業的王冠，又怎麽可能簡單呢。

就拿這台光刻機的物鏡來說，如果你以為那是一個類似單反鏡頭東西，那就完全錯了。

ASML公司EUV型光刻機采用的物鏡，高達一米八四，寬度接近七十公分，是德國光學巨頭卡爾·蔡司集團，與激光巨頭亞琛集團聯合制造的。

物鏡多少錢？

抱歉，無論羅佳掏多少錢，都買不到這套物鏡。

從成本的角度估算，這套物鏡的成本應該在一千萬美元左右，其復雜程度和精確程度，足以被寫入光學發展史。

羅佳給溫成嶺看的，就是這麽個東西，它巨大而精密，充滿科幻電影般的未來感。

而且ASML的EUV是第三代，羅佳這個是第四代，超紫外光，技術復雜程度還要更高。

“你們……竟然已經做到了這種程度！？”溫成嶺激動的瞪大眼睛，發出不可思議的聲音。

剛才距離遠，又隔著玻璃，所以沒太看清楚，還以為是個樣子貨。

如今走進無塵實驗室裏，溫成嶺才恍然發覺，這台四代光刻機的完成度，已經如此之高！