第429章 欣喜:單晶矽棒突破

“出樣品了!”

“純度11N!”

9月20日上午十點鐘,沐陽正在辦公室裏看資料,突然收到矽廠(晶圓廠)的消息,一直凝視資料毫無波瀾的臉蕩漾出喜悅。

適用於集成電路行業的半導體矽片對產品質量有極高的要求,純度必須達到99.9999999%(9個9,簡稱9N)以上,最先進的工藝則需要達到99.999999999%(11個9,即11N)。

出口要求,一般要達到9N。

現在國產矽棒,能達到11N是有,但生產極不穩定,成本會高許多。

沐陽的要求,要穩定達到12N,而且生產成本不能太高。

矽棒指標當然不止純度,還有結晶構造、平坦度等,也要滿足電阻率、碳殘余量、厚度、翹曲度、表面金屬殘余量等各類參數指標要求。

但純度就是核心,尺寸就是成本,這麽說有些片面,但也沒錯。

“好的,我過來看下。”

沐陽放下資料,喊上司機準備車。

矽廠不在總部基地這邊,而是在星海集團2號工業園區,即陽富區工業園區。

三分鐘後,沐陽坐上未來01,向矽廠方向駛去。

半個小時後,沐陽來到了實驗車間,換上白色無塵服裝和熟膠手套,戴上口罩,全身嚴實,只留下一雙眼睛。

在入口處按了下指紋,驗證人臉,才能真正進入實驗車間。

九月份的天氣非常炎熱,還好車間是恒溫車間,溫度只有二十攝氏度,要不然,穿著一身包裹得嚴實的衣服,那得多難受。

但就算如此,沐陽還是感到一些不習慣,特別是幾年不戴口罩了,感受呼吸不是很順暢。

在後世,戴口罩戴習慣了,一天不摘下來感覺也沒事兒,就耳朵根被勒得有些疼而已。

走在車間裏,沒有人認出沐陽。

路過的一位員工看到他沒有佩戴員工牌,衣服背面也沒有個人名字標識,趕緊走回去擋住他:“你好,請問你是哪位?怎麽進來了?為什麽沒有佩戴員工牌?”

這個時候,沐陽才想起,他沒有生氣,反而是笑了笑,不過,眼前這位員工也是看不到他笑。

“問你呢?否則我要報警了!”

“沒事,我是沐陽。”沐陽摘下口罩,露出一個笑臉,然後又重新戴好口罩。

他這麽一說,眼前這位年輕員工恐慌起來,向沐陽深深鞠躬:“啊,您是董事長,我沒認了來,對不起,對不起!”

“沒事,你做得很好,警惕性很高,我路過幾個同事,都沒注意到這點。說到底就是我的問題,沒有制作自己的標牌。”沐陽揮揮手笑道。

“謝謝董事長,我真的沒認出來。”

“不用在意,去忙吧。”

“好的,拜拜。”說完後,這員工快步離開,感覺太尷尬了,幸好董事長不在意,還表揚了他。

沐陽來到一台XH1200型單晶爐前,此時有七八位員工正在設備外圍交流,看到沐陽,這些員工還是沒認出來。

技術經理向海,見過沐陽多次,也知道沐陽要來,通過他的身材和眼神認出來,然後走過去打招呼:

“董事長,您來了。”

向海這麽一喊,其他員工血壓瞬間飆升,眼前這位竟然是董事長!

“嗯,說說具體情況。”沐陽點頭。

向海說道:“我們眼前這台設備,昨天開始試制樣品,理論最大熔料量達到1200公斤,我們放了1000公斤。

設備可拉制12英寸到14英寸的單晶矽棒,目前正在生產的是12英寸的矽棒,嘗試全長度尺寸怎麽樣。

昨天,我們試制了兩根一米長度的單晶矽棒,以測試結果來看,各種指標達到了高端手機芯片的矽材料要求,生產效率比常規的每小時提拉10厘米要快一倍左右。

當然,離我們制定的要求,還是有一些差距,有不少小瑕疵,比如矽純度達到了11N,但不管怎麽樣調試,都達不到12N,我們正在找原因,還沒找到。”

星海集團目前使用的矽精練方法是提拉法。

先把熔化的Si放在石墨坩堝裏面,使用感應法加熱,之後又放在石英容器裏,通過純氫氣體作為清潔氛圍。再把作為種子的籽晶放在垂直棒的前端,再放入熔化的Si裏面。

因為籽晶表面會吸附熔化物,在垂直棒不斷緩慢旋轉和提拉的過程中,可以長出直徑比籽晶大得多的體材料晶體。

這有點像兩根筷子插入盛滿面條的鍋裏,筷子夾緊的幾根面子就像是“籽晶”,吸附鍋裏的其它面條,隨著筷子旋轉,然後提升,越來越多的面條被卷入筷子中。

而且,被卷入的面條排布得比較整齊,其實提拉法還利用到了旋轉重力的作用,能夠均勻地分布熔化的矽,同時通過軸(筷子)的旋轉,控制了矽溫度和幾何構性的不均勻性。